所謂ITO導(dǎo)電膜，是指氧化銦錫的透明茶色或黃灰色薄膜，其核心成分是90%的In2O3和10%的SnO2。

由于ITO導(dǎo)電膜是一種學(xué)習(xí)電學(xué)傳導(dǎo)和光學(xué)信息透明的組合進(jìn)行材料，所以它天然地適用于中國(guó)液晶顯示器、平板顯示器、觸控屏幕等諸多企業(yè)科技創(chuàng)新產(chǎn)品。

為什么ITO可以導(dǎo)電

從物理上講，氧化銦錫薄膜是一種直接躍遷的寬帶隙半導(dǎo)體材料，其晶體結(jié)構(gòu)為立方鐵錳礦結(jié)構(gòu)。由于晶體結(jié)構(gòu)中缺少氧原子(氧空位)，在In2O3形成過(guò)程中有多余的自由電子，使得ITO薄膜具有一定的電子導(dǎo)電性。

同時(shí)，如果用 Sn 摻雜等高價(jià)陽(yáng)離子取代 IN2O3晶格中的 In ^ 3 + 位置，將增加自由導(dǎo)電電子的濃度，提高氧化銦的電導(dǎo)率。在ITO薄膜中，SN 以 SN ^ 2 + 或 SN ^ 4 + 的形式存在。由于 In 是正三價(jià)的 In 2o3，sN ^ 4 + 的存在將為導(dǎo)帶提供一個(gè)電子，相反，sN ^ 2 + 的存在減少了導(dǎo)帶中的電子密度。

如何解決深色I(xiàn)TO膜透光率低的問(wèn)題

ITO膜的顏色是茶色或黃偏灰色，這主要原因是因?yàn)镾nO材料技術(shù)本身是暗褐色。也正因我們?yōu)榇耍琁TO膜對(duì)可見(jiàn)光的透過(guò)率較差。進(jìn)而，在低溫環(huán)境沉積形成過(guò)程中，Sn在ITO中主要以SnO的形式發(fā)展存在，導(dǎo)致成本較低的載流子不同濃度和高的膜電阻。

目前常用的方法是退火。這種方法的優(yōu)點(diǎn)是: 一方面可以將 SNO 轉(zhuǎn)化為 SNO2，進(jìn)一步氧化膜層，另一方面可以解吸膜層中過(guò)量的氧氣，降低膜層電阻，提高 ITO 膜層的透過(guò)率。